(1) المعالجة المسبقة لـ PVD ، بما في ذلك تنظيف العناصر والمعالجة المسبقة.تشمل طرق التنظيف المحددة تنظيف المنظفات ، وتنظيف المذيبات الكيميائية ، والتنظيف بالموجات فوق الصوتية ، وتنظيف القصف الأيوني.
(2) وضعها في الفرن ، بما في ذلك تنظيف غرفة الفراغ والتركيبات ، وتركيب وتشغيل وربط العناصر والتركيبات.
(3) التفريغ ، الضخ بشكل عام إلى 6.6Pa أو أكثر ، افتح مقدمة مضخة الانتشار في وقت سابق للحفاظ على مضخة التفريغ وتسخين مضخة الانتشار.بعد التسخين المسبق كافي ، يتم فتح الصمام العالي وضخه إلى فراغ سفلي 6 × 10-3 باسكال مع مضخة نشر.
(4) الخبز ، خبز العناصر إلى درجة الحرارة المطلوبة.
(5) القصف الأيوني ، يكون الفراغ عمومًا من 10 باسكال إلى 10-1 باسكال ، جهد القصف الأيوني هو جهد عالي سلبي من 200 فولت إلى 1 كيلو فولت ، ووقت الهجوم هو 15 دقيقة إلى 30 دقيقة.
(6) الصهر المسبق ، وضبط التيار لإذابة المادة مسبقًا ، وضبط التيار لإذابة الطلاء مسبقًا وإزالة الغاز لمدة دقيقة إلى دقيقتين.ترسيب التبخر.يتم ضبط تيار التبخر حسب الحاجة حتى ينتهي وقت الترسيب المطلوب.التبريد ، يتم تبريد العناصر إلى درجة حرارة معينة في غرفة التفريغ.
(7) بعد إخراج العناصر ، يتم إغلاق غرفة التفريغ ، وإخلاء الفراغ إلى l × l0-1Pa ، ويتم تبريد مضخة الانتشار إلى درجة الحرارة المسموح بها قبل أن يتم إيقاف تشغيل مضخة الصيانة ومياه التبريد.